还在为等离子工艺不稳定而困扰?等待第三方检测,既费时又无法解决实时问题!
您只需一台JSC60E 等离子体强度分析仪,即可自主、实时监控等离子体释放强度。它如同一位永不疲倦的工艺专家,直接安装在您的刻蚀、PECVD 或去胶机旁,连续提供强度曲线与关键数据。
拥有 JSC60E,即刻解锁三大核心优势- 自主诊断更高效:随时捕捉工艺波动,快速定位腔体或电源异常,无需被动等待。
- 稳定良率有保障:通过强度曲线精准判断工艺终点,确保每一批次产品的均匀性。
- 降本增效看得见:无需依赖外包检测服务,提前预警设备维护,大幅节约时间与成本。
在现代制造过程中,精准控制等离子体强度是确保高质量产品和稳定生产的关键。但传统测试模式存在明显短板:
- 依赖外部第三方检测,增加生产成本;
- 检测周期长,无法及时应对生产中的实时问题;
- 难以持续追踪工艺波动,影响生产效率。
而 JSC60E 等离子体强度分析仪,通过传感器与精准分析功能,完美解决这些痛点。它能实时监控等离子体释放强度,让您在测试软件上随时掌握强度波动,第一时间获取等离子体释放数据,确保每个生产步骤都处于最佳工作状态。
不止稳定生产,更能助力工艺升级我们晋芯智控深入分析不同行业需求,发现 JSC60E 的价值远不止于维持工艺稳定:
- 对『半导体』行业而言,它能通过数据记录与分析,为未来的工艺改进提供重要依据;
- 积累历史数据后,您可追溯、分析工艺波动原因,持续完善生产流程,推动工艺升级。
一台 JSC60E,就是您的专属等离子工艺实验室。让生产控制回归您手,助力生产工艺迈向更高巅峰!





