让中国光刻机变成废铁?日本下狠手,外媒:事情越来越大了(中国光刻机被谁耽误了)

『芯片』厂里使用的光刻胶,说白了就是在光刻时负责感光的那层材料,没有它,再先进的光刻机也只能沦为昂贵摆设,成不了型。世界上能生产高端光刻胶的,主要是日本几家历史悠久的企业,比如JSR、信越、东京应化,它们合起来占了全球九成市场。尤其是能支持到大约7nm节点的ArF浸没式光刻胶,更是几乎被它们牢牢垄断。相比之下,中国在EUV光刻胶方面几乎是零自产,ArF也才刚刚起步,KrF勉强做到个位数水平。2019年日本与韩国闹矛盾时,直接把光刻胶、氟化氢等关键材料列入出口审查,让三星的3nm良率掉到个位数,而台积电还能保持五成以上,就是因为三星拿不到足够纯度的日本光刻胶,晶圆批量报废,损失上百亿元。

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国内厂商看到这一幕,心里一时凉了半截。花几百亿买来的光刻机,要是关键材料被卡住,那真就变成昂贵装饰品了。光刻胶本身不是大宗商品,市场规模不算大,全球一年也就百亿美元💵左右。但麻烦就在于它的消耗极其大,一片晶圆一层胶,纯度稍微不达标,图形就可能变形,良率塌得一塌糊涂。过去国内自给率低得可怜,主要因为研发门槛高,配方不好调,杂质略高就整批报废,还要赔客户巨额损失。因此厂商宁愿多花钱买日本货,也不愿冒险使用国产产品。结果依赖越来越深,中芯等几家大厂一年采购光刻胶就耗资数亿元,几乎全靠日本供货。要是哪天日本真卡脖子,本土库存撑不过几个月,产线就得停。那几年大家一想到日本材料,心里都绷着根弦,毕竟2019年的事还历历在目,谁也不确定下一个会不会轮到自己。

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2023年6月26日,日本官资背景的JIC基金突然出手,用9093亿日元💴把JSR整个收了。JSR本身实力雄厚,全球光刻胶占三成市场,在ArF和EUV领域更是占据关键地位,台积电、三星、英特尔都是它的长期客户。JIC背后站着日本经产省,资金一部分来自政府,一部分由银行支持。虽然名义上说是为了帮JSR摆脱上市压力、加大研发投入,但外界都明白,这其实是在把核心材料产业往国家手里集中。收购过程也不简单,先成立专门的收购公司,通过要约来买流通股,每股价格4350日元💴,溢价很高,还得经过日本公正交易委员会、中美欧的反垄断审查。原本年底就该完成,结果拖到2024年3月才正式启动,4月中旬收购了八成以上股份,开始强制收购剩余股东,6月顺利退市。私有化后的JSR不用再按季度披露财报,研发上更能放开手脚,但出口许可这类事,自然得听政府的调度。7月23日,日本同步落地了对23类『半导体』设备的出口管制,从清洗、沉积到刻蚀全覆盖,虽然没有明说光刻胶,但随着JSR国有化,材料环节也等于被官方掌控。外界不免猜测,这是不是在设备管制另一头再补上一刀。收购完成后,JSR高层进行了调整,产能向日本本土和盟友国家倾斜,新的EUV配方优先供给自家产业链。那时国内厂商还能照常采购,但大家心里都清楚,这把刀悬在空中,一旦审批从个案变成普遍拒批,ArF光刻胶断供,14nm以下产线马上就得停摆。最后的结果却是:2024年底JSR与收购主体合并,新公司继续运营,财务信息更不透明,但供货合同依然执行,出口许可依旧按流程走,没有变成全面限制。外媒当时说日本这招狠,材料国有化是锁死供应链,中国光刻机会废掉一半。可两年过去,断供没有发生,倒逼国产化却加速了。

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归根到底,日本这刀举了半天,终究还是没砍下去。JSR退市后,对中国的供应基本维持原状,许可证照批,没有搞什么配额收缩。国内这边当然不会坐等风险,南大光电冲得最猛,2025年底做出第一支国产ArF光刻胶,2023年已有多款通过客户测试,开始小批量供货,2024到2025年覆盖14nm到28nm节点的产品陆续验证成功,销售规模上升到以亿为单位,三款核心产品实现稳定供应,配方中的关键树脂等材料也能自行生产。其他企业也跟着发力,北京科华的KrF光刻胶在国内占了四成市场,徐州博康、苏州瑞红的g/i线光刻胶早已大批量供应,自给率从个位数快速涨到十几二十个百分点。国家投入也非常大,02专项大基金等资金持续注入,新产线扩建、工艺反复迭代。中芯等大厂直接下出百吨级订单,国产光刻胶良率提升到九成以上,与日本产品几乎不相上下,价格还低了三四成。到了2025年,ArF自给率突破15%,KrF更是更高,产线开足马力,设备不再闲着。JSR事件曾经引起恐慌,现在反成国产替代的加速器,产业链越补越扎实。日本原本想卡脖子,结果没卡住,反而逼出了国产光刻胶的快速量产,订单随之增长。如今外媒再回头看,感叹的是确实影响深远,但深远在中国的国产替代加速,而不是日本的限制政策。日本这一刀举得太晚,中国的脚步已经停不下来了。

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