精准控光赋能——适配UV膜粘性分级的解胶方案

UV膜按粘性可分为高、中、低三类,不同粘性的UV膜在解胶时对『紫外线』照射参数要求差异显著。润铎科技UVLED解胶机凭借精准的光强、时间调控能力,可完美适配各类粘性UV膜的解胶需求,实现“一类UV膜、一套精准解胶参数”,确保解胶彻底、无残胶、无损伤。

UV膜的粘性分级的是其适配不同晶圆加工场景的核心依据,高、中、低三类粘性UV膜的剥离黏度在『紫外线』照射前后差异明显,对解胶设备的『紫外线』输出精度和参数调控灵活性提出了差异化要求。传统解胶设备参数调节粗糙,无法精准匹配不同粘性UV膜的解胶需求,易出现高粘性UV膜解胶不彻底、低粘性UV膜过度照射损伤工件等问题,而润铎UVLED解胶机通过硬核控光技术,完美破解这一行业痛点。

针对高粘性UV膜的解胶需求,润铎UVLED解胶机可灵活调节光照强度与照射时间,通过精准输出高强度『紫外线』,快速触发粘性层化学反应,确保其剥离黏度从5000-12000mN/20mm降至1000mN/20mm以下,实现彻底解胶。设备搭载的PLC智能控制系统,可将光照强度调节精度控制在±1%,照射时间调节精度达0.1s,可根据高粘性UV膜的胶层厚度、基材特性,微调参数避免照射不足导致的残胶问题,同时防止过度照射损伤UV膜基层。

对于低粘性UV膜,设备则可切换至低强度、短时间的照射模式,精准控制其剥离黏度从1000mN/20mm左右降至100mN/20mm以下,既保证晶粒易取下,又避免过度照射导致的UV膜老化、基材变形。结合设备的均匀照射技术,可确保低粘性UV膜整体粘性衰减一致,避免局部粘性过高导致的晶圆表面残胶,契合『半导体』加工高洁净、高精度的生产标准。

此外,设备支持多组工艺参数存储功能,可针对高、中、低不同粘性的UV膜,以及不同厂家、不同型号的UV膜,预设专属解胶参数,一键调用即可切换生产模式,无需工作人员反复调试,大幅降低操作难度,提升生产效率。同时,设备的波长精准控制技术,可避免『紫外线』波长偏差影响UV膜粘性衰减效果,确保各类粘性UV膜的解胶稳定性,为晶圆加工提供可靠的解胶保障。#UVLED解胶机#

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