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koh刻蚀si100角度是多少

刻蚀过程中,KOH对不同晶向的硅具有不同的腐蚀速率,从而导致特定角度的斜面形成。典型角度:当使用KOH刻蚀Si(100)晶向时,形成的斜面与硅片表面的夹角为54.7°。 加入异丙醇(IPA)可抑制(111)…

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