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康普雷森取得磁控溅射镀膜设备靶材冷却背板专利 提高冷却背板冷却效果(康普森仪器)

专利摘要显示，本实用新型公开了一种磁控溅射镀膜设备的靶材冷却背板，包括冷却背板本体，冷却背板本体的顶部固定连接有靶板本体，冷却背板本体的顶部设置有锁定组件，锁定组件用于锁定靶板本体，冷却背板本体的内部开设有…