康普雷森取得磁控溅射镀膜设备靶材冷却背板专利 提高冷却背板冷却效果(康普森仪器)

康普雷森取得磁控溅射镀膜设备靶材冷却背板专利 提高冷却背板冷却效果(康普森仪器)

金融界2025年8月7日消息,国家知识产权局信息显示,苏州康普雷森精密机械有限公司取得一项名为“一种磁控溅射镀膜设备的靶材冷却背板”的专利,授权公告号CN223189248U,申请日期为2024年08月。

专利摘要显示,本实用新型公开了一种磁控溅射镀膜设备的靶材冷却背板,包括冷却背板本体,冷却背板本体的顶部固定连接有靶板本体,冷却背板本体的顶部设置有锁定组件,锁定组件用于锁定靶板本体,冷却背板本体的内部开设有冷却槽。本实用新型通过锁定组件将靶板本体牢固地锁定在冷却背板本体的顶部,使得靶板本体的温度更有效率的传导至冷却背板本体上,在靶板本体进行溅射工作时,储水箱内部的水泵通过供水管将冷却水输送到循环冷却管的内部,升温的冷却水随后通过回水管回流至储水箱,从而对靶板本体进行有效的降温冷却,进而提高了冷却背板的冷却效果,延长了靶板的使用期限,并进一步提升了磁控溅射镀膜的效率和质量。

天眼查资料显示,苏州康普雷森精密机械有限公司,成立于2010年,位于苏州市,是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本3000万人民币。通过天眼查大数据分析,苏州康普雷森精密机械有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目2次,专利信息75条,此外企业还拥有行政许可4个。

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