第一炉香 PDF电子版(第一炉香电子版)
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这台标志着中国首台『半导体』级步进纳米压印光刻系统的设备,实现了线宽<10nm的工艺精度,在残余层控制(<10nm)、深宽比(>7:1)等核心指标上超越日本佳能同类产品,成功突破了日本佳能长期垄断的纳米压印光刻…