通过化学气相沉积(CVD)方法在2英寸衬底上制备WSe2薄膜,能够实现高均匀性和大面积覆盖,为科研与器件开发提供稳定材料基础。调节升温速率、气氛比例与反应时间,可以获得单层、双层或多层WSe2薄膜。随着CVD…