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季华恒申请一种角度可调的多工位靶台系统及离子注入机专利，能够有效地解决无法根据晶圆的制备需求调节靶盘倾斜角度的问题

专利摘要显示，本申请涉及离子注入技术领域，具体提供了一种角度可调的多工位靶台系统及离子注入机，该系统包括：支架；多个靶盘组件，圆周阵列在支架上且与支架铰接，用于安装晶圆；多个靶连杆，每个靶连杆的一端均与一个…