季华恒申请一种角度可调的多工位靶台系统及离子注入机专利，能够有效地解决无法根据晶圆的制备需求调节靶盘倾斜角度的问题

金融界2025年1月16日消息，国家知识产权局信息显示，季华恒（佛山）半导体科技有限公司申请一项名为“一种角度可调的多工位靶台系统及离子注入机”的专利，公开号CN 119297075 A，申请日期为2024年12月。

专利摘要显示，本申请涉及离子注入技术领域，具体提供了一种角度可调的多工位靶台系统及离子注入机，该系统包括：支架；多个靶盘组件，圆周阵列在支架上且与支架铰接，用于安装晶圆；多个靶连杆，每个靶连杆的一端均与一个靶盘组件铰接；升降机构，安装在支架上且与所有靶连杆的另一端铰接，用于驱动所有靶连杆的另一端同步上升或下降，以使所有靶盘组件同步向下摆动或向上摆动；该系统能够有效地解决无法根据晶圆的制备需求调节靶盘的倾斜角度的问题。