泽攸科技 | 无掩膜光刻机的分辨率能达到什么水平？影响其分辨率的关键因素有哪些？(泽攸科技有限公司上市)
最小特征线宽可达0.5μm（专业版机型），支持0.5μm至2μm范围内的灵活调整；在常规工艺下，线宽与线宽间隔可稳定控制在1μm以下，并可通过优化工艺进一步提升精度；支持8位灰度光刻，可生成复杂的三维微结构…
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