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协作机器人
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泛林介绍世界首款半导体制造设备维护专用协作机器人 Dextro,已获多家晶圆厂应用
Dextro 协作机器人是一种位于推车上的可移动机械臂装置,由制造技术人员或工程师进行控制,借助各种“手部工具”能很好地完成各类设备维护任务。