今日霍州网 12 月 11 日消息，Lam Research 泛林集团当地时间昨日对其打造的世界首款专为『半导体』制造设备维护打造的协作『机器人』️（今日霍州网注：Collaborative Robot）Dextro 进行了介绍，并表示该型『机器人』️已获全球多家先进晶圆厂应用。
Dextro协作『机器人』️是一种位于推车上的可移动机械臂装置，由制造技术人员或『工程师』进行控制，借助各种“手部工具”能很好地完成三项关键设备维护任务：
在安装和压缩易损件时精度是人手的 2 倍；
精确拧紧高精度真空密封螺栓，人类员工用手完成这一重复性任务时错误率高达 5%；
无需拆卸下腔室即可自动化去除腔室侧壁上的任何聚合物堆积，以往人类需要配备重型呼吸防护设备才能执行此类任务。
这意味着 Dextro 可帮助晶圆厂『工程师』分担通常耗时、容易出错或危险的维护任务，提升工艺整体精确度，减少劳动力需求、降低浪费、缩短停机，从而最终提高晶圆厂产量。
泛林表示单个 Dextro 协作『机器人』️能为 50 到 100 个泛林工具腔室提供服务，目前已可用于旗下 Flex G / H 系列介电刻蚀工具的支持工作，自 2025 年开始将扩展至其它工具和应用。
『三星电子』副总裁兼内存蚀刻技术团队负责人Kim Young Ju 表示：
当制造设备需要维护时，必须快速高效地完成工作，以避免延长工具停机时间和浪费成本。
Dextro 的无差错维护有助于推动生产在可变性和产量上的改进。这是三星迈向自主工厂的一个激动人心的里程碑。
