公司回答表示：公司深耕薄膜沉积设备工艺技术研发和应用场景拓展，高度重视技术创新，在微、纳米级薄膜沉积核心技术领域积累了丰富的技术储备，已形成多项核心技术， 构建以原子层沉积（ALD） 技术为核心， 化学气…
