微导纳米：公司在微、纳米级薄膜沉积领域积累丰富技术储备

金融界2月10日消息，有投资者在互动平台向微导纳米提问：贵司是原子层沉积的龙头，与 ALD（原子层沉积）相对的ALE(原子层刻蚀)领域，贵司有无相关技术储备？

公司回答表示：公司深耕薄膜沉积设备工艺技术研发和应用场景拓展，高度重视技术创新，在微、纳米级薄膜沉积核心技术领域积累了丰富的技术储备， 已形成多项核心技术， 构建以原子层沉积（ALD） 技术为核心， 化学气相沉积（CVD） 等多种真空薄膜技术梯次发展的产品体系。