臻芯龙为申请附带气动密封的CVD真空反应器专利，使每个喷射孔排出气态物质流量与原先趋于一致(臻芯科技有限公司)
金融界2025年8月1日消息，国家知识产权局信息显示，臻芯龙为（上海）半导体材料有限公司申请一项名为“一种附带气动密封的CVD真空反应器”的专利，公开号CN120400799A，申请日期为2025年03月。 …
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