昆山国音取得具有烘干机构的半导体晶元超声波清洗装置专利,彻底去除晶圆体表面的微粒、金属杂质、有机物和其它污染物

昆山国音取得具有烘干机构的半导体晶元超声波清洗装置专利,彻底去除晶圆体表面的微粒、金属杂质、有机物和其它污染物

金融界2025年6月28日消息,国家知识产权局信息显示,昆山国音超声波工业设备有限公司取得一项名为“一种具有烘干机构的半导体晶元超声波清洗装置”的专利,授权公告号CN223038902U,申请日期为2024年08月。

专利摘要显示,本实用新型涉及半导体晶元加工技术领域,尤其涉及一种具有烘干机构的半导体晶元超声波清洗装置,包括底座,所述底座上端设置有清洗槽,所述底座两侧内部均等距设置有多个孔洞;支架,所述支架两侧内壁之间滑动连接有活动框,所述活动框一侧贯穿滑动连接有承载框。清洗槽内部存储有适量的清洗液,清洗液通过多个通孔流动至承载框内部,再配合超声波发生器对承载框内部的半导体晶元进行清洗,通过超声波对半导体晶元进行清洗,能够彻底去除晶圆体表面的微粒、金属杂质、有机物和其它污染物,活动框带动承载框向上滑动,热气流从多个孔洞喷出,喷出的热气流通过多个通孔流动至承载框内部,对承载框内部的半导体晶元进行烘干处理。

天眼查资料显示,昆山国音超声波工业设备有限公司,成立于2010年,位于苏州市,是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本200万人民币。通过天眼查大数据分析,昆山国音超声波工业设备有限公司参与招投标项目1次,专利信息20条。

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