广立微申请栅氧化层电性厚度监测相关专利,计算得到精确的栅氧化层电性厚度

广立微申请栅氧化层电性厚度监测相关专利,计算得到精确的栅氧化层电性厚度

金融界2025年7月2日消息,国家知识产权局信息显示,广立微(上海)技术有限公司申请一项名为“栅氧化层电性厚度监测结构、方法、装置和计算机设备”的专利,公开号CN120237127A,申请日期为2025年06月。

专利摘要显示,本申请提供一种栅氧化层电性厚度监测结构、方法、装置和计算机设备,结构包括:间隔布置的第一MOS结构和第二MOS结构,其中,第一MOS结构中,源漏区域上方形成第一极板,沟道区域上方形成第二极板,第二极板上的栅极与源漏区域具有第一重叠区域;第二MOS结构中,源漏区域上方形成第三极板,沟道区域上方形成第四极板,第四极板上的栅极与源漏区域具有第二重叠区域;沿沟道方向上,第一极板上任一点与第二极板之间的距离,与第三极板上对应点与第四极板之间的距离相同,第一重叠区域与第二重叠区域的面积相同,第二极板上的栅极区域与第四极板上的栅极区域相比,栅极宽度相同且栅极长度不同。通过本申请,可以计算得到精确的栅氧化层电性厚度。

天眼查资料显示,广立微(上海)技术有限公司,成立于2022年,位于上海市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本10000万人民币。通过天眼查大数据分析,广立微(上海)技术有限公司共对外投资了1家企业,专利信息11条,此外企业还拥有行政许可4个。

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