20型投影光刻机气动隔振系统如何选型

投影光刻机作为高端制造设备，对设备精度和稳定性要求极高。气动隔振系统在其中扮演着关键角色，其选型直接影响设备的运行品质。气动隔振系统通过气流的运动，将振动能量转换为热能，从而减少振动对设备和工件的损害。选择合适的气动隔振系统需要考虑设备的频率响应特性，确保隔振体的固有频率与设备运行频率错开，避免共振。

材料选择和结构设计也要注重气密性与隔振效果的平衡。根据投影光刻机的使用场景和工件特性，合理确定隔振参数，如隔振阻尼比和减震器 installed location，能够显著提升设备的整体性能。正确的气动隔振系统选型是确保投影光刻机高效、稳定运行的重要基础。