先进EUV到货半年后 日本“『芯片』国家队”展示2nm工艺原型『芯片』(先进先出定义)

先进EUV到货半年后 日本“『芯片』国家队”展示2nm工艺原型『芯片』(先进先出定义)

当地时间周五,被称为日本“『芯片』国家队”的『半导体』制造商Rapidus举行发布会,宣布旗下工厂已经开始2nm全环绕栅极(GAA)晶体管的测试晶圆原型制作,同时确认早期的2nm测试晶圆已达到预期电气特性。据悉,原型制作是『半导体』生产中的一个重要里程碑,旨在验证使用新技术制造的早期测试电路是否表现可靠、高效,并达到性能目标。

Rapidus社长小池淳义介绍称,去年12月拿到阿斯麦NXE:3800E EUV光刻机后,试点生产线于今年4月在北海道的IIM-1工厂启动。到6月时,工厂已经接入“200台以上”的『半导体』设备。虽然已经拿出原型晶片,小池淳义依然表示公司仍预期到2027年的某个时间点实现2nm工艺量产,足以显示这家新兴晶圆厂还有诸多挑战需要克服。

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