新款光刻机,突破先进封装技术!明年上市(光刻机新突破)

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先进封装技术进阶推动电路微细化、封装尺寸增大,采用树脂或玻璃基板的面板级封装需求将增长。尼康顺势推出『半导体』后道工艺数字光刻机 “DSP-100”,2025 年 7 月起接单,2026 年上市。

该设备专为先进封装打造,支持 600mm 见方大型基板,1.0μm 高分辨率,融合『半导体』光刻机与 FPD 曝光设备技术,重合精度高,处理 510×515mm 基板每小时达 50 片。

其无需光掩模,靠空间光调制器投射图案,突破尺寸限制,适配大型封装需求,降低成本、缩短周期,还能补正基板翘曲,保障质量与效率。

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