上海光机所在全息光刻研究方面取得进展(上海光机所地址在哪)
图1 肘形图形为目标图形,不同方法得到的全息掩模分布、空间像与光刻胶轮廓与基于GS 算法的全息掩模设计方法相比,新方法设计得到的全息掩模有效降低了空间像光强分布的均方根误差(RMSE)和面积误差比(AER)…
图1 肘形图形为目标图形,不同方法得到的全息掩模分布、空间像与光刻胶轮廓与基于GS 算法的全息掩模设计方法相比,新方法设计得到的全息掩模有效降低了空间像光强分布的均方根误差(RMSE)和面积误差比(AER)…
在本示例中,模拟了衰减相移掩模。在其中一个开口的下方,位于相移区域。由于这个例子是所谓的一维掩模(线空间模式),在xy平面中有一个2D仿真域。在源文件中设置3DTo2D = yes标签,以执行用户自定义传…
金融界2025年8月25日消息,国家知识产权局信息显示,奥多比公司申请一项名为“无掩模合成图像生成”的专利,公开号CN120525731A,申请日期为2024年12月。 专利摘要显示,本公开的实施例涉及无掩模…
先进封装技术进阶推动电路微细化、封装尺寸增大,采用树脂或玻璃基板的面板级封装需求将增长。尼康顺势推出『半导体』后道工艺数字光刻机“DSP-100”,2025 年 7 月起接单,2026 年上市。 该设备专为先…
金融界2025年6月9日消息,国家知识产权局信息显示,埃马金公司申请一项名为“刚性蓝宝石基底的直接图案化沉积掩模”的专利,公开号CN120112671A,申请日期为2023年08月。 专利摘要显示,本公开提供…
光掩模行业具有逆面板周期特性,如2020-2025年面板行业上行时,面板掩模版销售额却下滑;相反,面板下行时掩模版公司收入增长,因平板显示厂商为保竞争力加大新品开发,带动掩模版需求。 路维光电在业绩说明会上…
其采取「有限 EUV」策略,仅在关键层使用极紫外光刻技术,其余工序依赖成熟的氟化氩浸没式(ArFi)设备和多重图案化工艺。美光认为当前 EUV 的稳定性不足,且设备购置与维护成本过高,尤其是在『半导体』市场周期性…