近日，广东工业大学纳准创新团队研发的国产调平调焦对准系统实现企业产线应用，成功打破高精度对准设备长期依赖进口的局面，标志着我国在先进显示半导体制造领域实现重大突破。
早在2019年，该团队就研制出首台国产对准设备样机，并在实验室测试中实现微米级对准精度。但在进入企业产线测试时，因产线基板存在传输震动、材料应力等影响，呈现为凹凸不平的曲面，而现有技术仅能实现“平面对准”，尚无法满足真实需求的“空间对准”。
面对挑战，团队投入空间对准技术攻关。通过研制纳米云台实时调平基板，配合宏微复合自动对焦，使设备在空间起伏时也能精确对准。从平面到空间、从单一对准到调平调焦一体化，团队用四年时间完成了从“纸上样机”到“产线实用”的蜕变，最终形成调平调焦对准系统，使国产设备在复杂工况下的对准精度稳定达到2微米级，追上了国际大厂水平。
在8K超高清、OLED、Mini LED 等新型显示技术蓬勃发展的背景下，对准精度对半导体制造提出更高要求，轻微偏差就可能引发拖影、光晕等问题。此前，该类高端设备长期被日德企业垄断，国内产线依赖进口，不仅成本高，且受制于人，成为行业发展的“卡脖子”难题。
广工纳准创新团队由汤晖教授指导，2014年立项之初便瞄准这一国产化空白。面对没有现成算法模型、缺乏精密光学元件调试经验等困难，团队通过分析模糊展会照片剖析结构，阅读海量文献、整理上百页调研报告，一步步搭建实验平台、编写算法、优化参数，在实验室昼夜攻关。
项目成果落地过程中，团队主动深入企业研发车间，及时摸清市场发展趋势，有针对性地研发适配市场需求的技术产品。目前，该系统已在半导体先进封装、MEMS器件制造及新型显示等领域展现出巨大市场前景，为高精度晶圆键合、微纳器件精准制备以及半导体装备国产化等重要应用领域提供了国产化平台。
依托学校省部共建精密电子制造技术与装备国家重点实验室，团队的系统已从实验室走向生产线，在产线启动迭代升级，并且已与多家企业签订合作开发合同，相关技术也在对不同应用场景进行技术迁移。
（中国日报社广东记者站 李文芳|蓝丽珊）
