在半导体制造中，电子级超纯水（UPW）被大量用于清洗、冲洗工艺，其纯净度直接影响芯片良率。其中，水的电导率/电阻率是衡量离子污染最关键的参数之一——它如同超纯水的“纯净度标尺”，直接反映水中带电杂质的含量。
在线电导率传感器/电阻率传感器
- 半导体工艺对水质极度敏感，金属离子残留可能导致晶圆表面缺陷
- 应行业标准要求，半导体超纯水电阻率 ≥18.2 MΩ·cm（25°C），相当于电导率 ≤0.055 μS/cm
Thornton UPW UniCond 电导率/电阻率传感器通过以下升级满足集成电路制造的严苛需求：
- 提升的精度
与普通电阻传感器相比，将温度补偿下的精度进一步提升到了±0.5%，降低数据噪声，减少误报警，聚焦水质真实波动。
在使用SPC控制水质时，让控制图更为可靠真实。
- 增强的抗干扰能力
UPW UniCond 电导率/电阻率传感器更新了设计，进一步屏蔽外部震动、电磁干扰。
在半导体水系统中的应用UPW UniCond 电导率/电阻率传感器通常部署于：
- 关键工艺用水点：晶圆清洗设备进水、光刻浸液系统
- 抛光混床后监测点：捕捉树脂性能衰减导致的离子泄漏
- 厂务核心制水单元出口：实时反馈产水纯度是否达标
