狙击超纯水中的“隐形杀手”——Thornton 6000TOCi 在线总有机碳分析仪

在半导体超纯水系统中，即使电阻率达标，痕量有机碳（TOC）仍可能导致晶圆表面缺陷，影响产品质量。Thornton 6000TOCi 在线 TOC 分析仪采用先进的紫外氧化加电导率差值算法，实现对超纯水中微量有机碳的精准实时监测，为工艺水质提供关键保障。

总有机碳分析仪/TOC分析仪

1. TOC监测的重要性

严格标准：半导体行业对超纯水 TOC 浓度要求极低，通常≤1 ppb。

污染来源：树脂溶出、管道材料迁移、空气溶解等非离子有机污染。

监测需求：离线检测难以捕捉瞬时有机物浓度波动，在线监测尤为必要。

2. 6000TOCi的技术实现原理

• 紫外氧化：

水样经过紫外光照射作用，有机碳被完全氧化为二氧化碳（CO₂）。

• 电导率测量与差值计算：

在氧化前后，分别测量水样的电导率；

通过计算氧化前后电导率的差值，精确计算出水中 TOC 的浓度。

该方法避免了传统膜分离技术的复杂性，同时保证了高灵敏度和准确度。

3. 应用场景

主循环回路监控：实时掌握系统 TOC 基线，预警有机污染。

抛光混床出口监测：监测树脂床失效导致的有机物释放。

关键工艺点供水监测：确保光刻、蚀刻等工艺用水符合超纯标准。