张宝武1,3，饶鹏辉2，霍剑锋1，余桂英1
( 1.中国计量大学计量测试工程学院，杭州310018，2.讯技光电科技(上海)有限公司，上海200092；3.比萨大学 物理系，比萨56127)
摘要：为了研究扫描近场光学显微镜🔬(SNOM) 光纤探针的光学特性，采用基于场追迹方法的光学软件VirtualLab Fusion 进行了仿真实验，取得了SNOM光学探针尖端外部光场的分布情况。结果表明，沿z轴方向，不同截面上的光场分布都会呈现小孔衍射的图案，其中心斑点中心强度随着z值的变大而呈近似指数函数衰减，到z=100nm位置处几乎衰减为0;中心斑点轮廓线的半峰全宽随着z值的变大而呈现先不变后增大的趋势，其拐点处于z=20nm位置处，此时对应的中心强度值为7.2V/m²，这个强度值按指数函数计算正好处于z=0nm位置处强度的e-2。结果清晰显示了SNOM光学探针的光学特性，证实SNOM探针工作时需要与样品表面保持在10nm左右的必要性。
关键词： 成像系统; 扫描近场光学显微镜🔬; 场追迹; VirutalLab Fusion; 光纤探针
