国产纳米压印光刻设备交付!实现10nm线宽精度(纳米压印设备国产)

国产纳米压印光刻设备交付!实现10nm线宽精度(纳米压印设备国产)

国产高端半导体装备制造又迈出重要一步。

作者 | ZeR0

编辑 | 漠影

芯东西8月6日报道,璞璘科技周二宣布,其自主设计研发的首台PL-SR系列喷墨步进式纳米压印设备,已于8月1日顺利通过验收并交付至国内特色工艺客户。

这是中国首台半导体级步进纳米压印光刻系统,攻克了步进硬板的非真空完全贴合、喷胶与薄胶压印、压印胶残余层控制等关键技术难题,可对应线宽<10nm的纳米压印光刻工艺。

目前,该款设备已初步完成储存芯片、硅基微显、硅光及先进封装等芯片研发验证

PL-SR是一种通用的重复步进纳米压印光刻系统,其具有高效、高精度的压印功能,并具备拼接复杂结构的性能。它采用高精度的喷墨打印式涂胶方案,还能辅助高精度的对准功能,可实现高精度拼接对准精度要求的纳米压印工艺。

该系统可满足模板拼接的需求,最小可实现20mm x 20mm的压印模板均匀的拼接,最终可实现300mm(12in)晶圆级超大面积的模板。

▲8寸晶圆AR拼版

这款设备配备璞璘科技自研的模板面型控制系统、纳米压印光刻胶喷墨算法系统、喷墨打印材料匹配,并搭配了自主开发的软件控制系统,成功攻克喷墨涂胶工艺多项技术瓶颈,在喷涂型纳米压印光刻材料方面实现重大突破。

在半导体级芯片压印工艺中,芯片结构通常为变占空比、多周期变化的纳米结构。这种复杂的结构设计需对局部胶量精准控制,根据结构变化动态调节压印胶的喷涂量,从而获得薄而一致的残余层厚度。

PL-SR系列通过创新材料配方与工艺调控,提高胶滴密度与铺展度,成功实现了纳米级的压印膜厚,平均残余层<10nm,残余层变化<2nm,压印结构深宽比>7:1的技术指标。

该款设备发展了匹配喷胶步进压印工艺与后续半导体加工工艺的多款纳米压印胶体系,特别是开发了可溶剂清洗的光固化纳米压印胶,解决了昂贵石英模板可能被残留压印胶污染的潜在风险,为高精度步进纳米压印提供了可靠材料保障。

在高端芯片极小线宽压印过工艺中,压印模板采用的是硬质的石英模板,因为石英与硅晶圆先天性具有一定的翘曲率,从而在整个纳米压印过程中要求对模板进行面型控制才能达到完美的贴合状态。

与此同时,高端芯片极小结构压印所需纳米压印胶量极少,大约10nm级的厚度,这更增加了模板和衬底贴合的难度。

璞璘科技自主研发的纳米压印模板面型控制技术则解决了上述的技术难点。

▲纳米压印模板贴合与脱模过程

与光刻工艺流程一样,在纳米压印工艺完成后下一道工序是刻蚀工艺,从而对压印的均匀性,稳定性要求极高。尤其对压印残余层的控制要求极高。

对此,璞璘科技对压印设备、材料、工艺系统的进行优化,可实现无残余层压印工艺。

在高端半导体制造领域,业界要求对准精度需突破10nm以下,甚至向1nm级逼近。这一技术指标的实现,其难度与成本已与国际主流极紫外光刻(EUV)设备处于同一量级。璞璘科技认为,要突破纳米级对准这一"卡脖子"技术,必须整合产业链优势资源。

该公司期待与国内在精密对准领域具有技术积累的科研院所和企业开展深度合作,通过联合攻关,共同打造具有国际竞争力的高端步进纳米压印设备,助力我国在下一代芯片制造装备领域实现自主可控。

特别声明:[国产纳米压印光刻设备交付!实现10nm线宽精度(纳米压印设备国产)] 该文观点仅代表作者本人,今日霍州系信息发布平台,霍州网仅提供信息存储空间服务。

猜你喜欢

中年李孝利凭啥碾压年轻偶像?(中年李孝利凭啥赚钱)

韩流盛行的十多年间,除了李孝利还有不少女偶像以“girlcrush”的形象突出重围,包括YG前当家女团2NE1和现当家女团BLACKPINK,以及李孝利在节目中多次提及的华莎(女团MAMAMOO成员)。 …

中年李孝利凭啥碾压年轻偶像?(中年李孝利凭啥赚钱)

艾森诺EP-80N+ASN-HM-60PC铸件浇冒口分离钳(艾森诺防水涂料)

作为铸造清理领域的专业设备,EP-80N+ASN-HM-60PC铸件浇冒口分离钳采用特种合金钢锻造,经过精密热处理工艺,具有以下突出优势: 此次发往滕州的铸件浇冒口分离钳设备,特别针对客户的中大型铸铁件生产…

艾森诺EP-80N+ASN-HM-60PC铸件浇冒口分离钳(艾森诺防水涂料)

评剧《东垣大医》三度进京绽华彩(评剧《东垣大医》三度进京)

这是该剧继去年5月在北京梅兰芳大剧院、10月在北京长安大戏院演出后,第三次登上首都舞台,以精湛艺术诠释医者仁心。 李杲在悠扬婉转的唱腔中完成四次华美变装,巧妙融入的魔术元素将寒暑苦读场景奇幻呈现,四季流转于…

评剧《东垣大医》三度进京绽华彩(评剧《东垣大医》三度进京)

Meta紧随微软步伐,试点重型木结构打造绿色数据中心

微软已计划在2024年末动工建设全球首座木质材料数据中心,紧随其后,meta也在今年7月31日宣布,将试点采用重型木结构(Mass Timber)技术来构建其数据中心。这不仅是对传统建筑方式的革新,更是对地球…

Meta紧随微软步伐,试点重型木结构打造绿色数据中心

华为Mate XTs硬刚iPhone17:同日发布,谁会更胜一筹?

尤其是华为第二代三折叠旗舰Mate XTs将与苹果的iPhone 17系列同期亮相的消息传出来之后,更是看点十足。 说实话,华为Mate XTs和iPhone17系列的区别还是蛮大的,以外观形态来说,前者延…

华为Mate XTs硬刚iPhone17:同日发布,谁会更胜一筹?