微电子技术是一门随着集成电路,尤其是超大型规模集成电路的发展而兴起的新技术。它是研究信息载体的技术,构成了信息科学的基石,其发展水平直接影响整个信息技术的发展。微电子技术的理论基础源于19世纪末到20世纪30年代期间建立的现代物理学。
微电子技术涉及系统电路设计、器件物理、工艺技术、材料制备、自动测试以及封装、组装等一系列专门的技术,并涉及固体物理、热力学、统计物理学、材料科学、量子力学、电子线路、信号处理、计算机辅助设计、测试与加工等多个学科领域。微电子这一名词最初是指尺度在微米量级,通过控制电子的行为进行功能表达。然而,随着器件尺寸不断缩小进入纳米尺度,微电子这一名词的内涵也在不断扩大,现在一般认为微电子泛指包含微米和纳米尺度的电子学。
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