超高速EtherCAT实时运动控制卡在高速『半导体』固晶机上的应用(超高速电路设计)

超高速EtherCAT实时运动控制卡在高速『半导体』固晶机上的应用(超高速电路设计)

市场应用背景

核心『半导体』设备国产化是解决“卡脖子”技术、保障国家战略安全的关键。在政策与下游需求推动下,国产设备需求激增。『半导体』固晶机是封装核心设备,其运动控制设备决定了高速高精度贴装晶圆『芯片』的性能,对实现定位、对准、粘接等关键步骤至关重要。

本篇文章主要介绍超高速实时运动控制卡XPCIE1032H在高速『半导体』固晶机上的应用,可快速了解正运动技术XPCIE1032H超高速实时运动控制卡的使用。

传统控制系统方案

传统方案一(以PLC为核心):

采用PLC+『触摸屏』+工控机+机器视觉。其弊端在于运动控制与机器视觉调试需在PLC屏和PC屏间切换,操作繁琐。且PLC受扫描周期限制,响应慢,与PC通讯数据交互速率低,导致设备整体产能较低。

传统方案二(以运动控制卡为核心):

采用PCI运动控制卡+工控机+机器视觉。运动控制卡集成于工控机内,通过高速PCI接口与视觉通讯,数据交互快,单屏调试简便,显著提升取晶固晶运动的速度与精度,最终实现更高UPH产能。正运动技术解决方案 正运动技术方案以工控机+XPCIE1032超高速运动控制卡+机器视觉为核心,提升产能与稳定性。

采用『Windows』实时内核技术,将运动控制、IO等处理置于CPU核内执行,与PC机器视觉的命令下发和读取通过CPU内存交互,交互速度比传统PCI/PCIe运动控制卡快数十倍,比PLC网口数据交互快50-100倍+,相比传统运动控制卡或者PLC方案,整体效率提升6%-20%+。

01超高速实时运动控制卡XPCIE1032H在高速『半导体』固晶机上的应用

正运动高速『半导体』固晶机解决方案架构

1.16DI:连接原点和限位光电、传感器、开关输入等信号;

2.16DO:连接电磁阀吸取、破真空和视觉飞拍等信号;连接两个相机📷️;

3.EtherCAT接口:125us EtherCAT同步周期,连接固晶摆臂轴、固晶上下料、蓝膜顶针轴、银胶点胶轴、载带基板送料轴以及其他共计12个伺服和步进轴;同时扩展EtherCAT IO模块。

固晶机工艺运行原理

固晶机由取料、推料、点胶、摆臂、固晶平台、蓝膜顶针平台、夹具及出料等机构组成,集成了高速精密定位、视觉定位与气动吸取等光机电技术。核心控制步骤如下:

01 视觉定位: 识别晶圆『芯片』与载带基板位置

02 点胶: 在载带基板指定位置进行精确点涂银胶

03 贴装: 摆臂吸取晶圆『芯片』并精准放置于点胶位置

MotionRT750运动控制实时内核,独占x86 CPU内核

XPCIE1032超高速运动控制卡搭载『Windows』实时内核MotionRT750,采用『Windows』非实时层+MotionRT750实时层的双系统架构。实时层确保运动控制不受『Windows』波动/抖动影响,保障高精度与稳定性;非实时层无缝对接VS/CAD/CAM等丰富『Windows』应用,极大提升开发调试效率。

指令交互周期快至us级

XPCIE1032超高速运动控制卡搭载『Windows』运动控制实时内核MotionRT750,直接利用PC中CPU/内存计算,大幅提升函数执行效率与响应速度,从而显著提高固晶机UPH产能。 通过C#、C++等语言的开发实测,结果显示其通讯速度远超传统PCI/PCIE卡方案和PLC网口交互方案,整体产能提升明显。

在相同测试环境下,经50次直线电机往复运动及1000次IO翻转测试,MotionRT750方案控制周期比传统PCI通信缩短约2500ms,效率提升超17.1%。

运动控制周期快至50us

XPCIE1032超高速实时运动控制卡搭载『Windows』实时内核MotionRT750,进行16轴或32轴EtherCAT总线控制时,其EtherCAT通讯同步周期可缩短至125μs,运动控制周期更可快达50μs,显著提升EtherCAT通讯效率。

在固晶等精密运动控制应用中,能实现更快、更平稳的运动轨迹规划。相比传统脉冲控制卡,其接线更简洁,维护更便捷。

更稳定、更安全、更可靠

工业自动化设备需满足7*24小时连续运行要求,任何异常停机都将造成重大损失。XPCIE1032超高速运动控制卡搭载『Windows』运动控制实时内核MotionRT750,通过EtherCAT总线冗余与PC故障隔离技术,构建高可靠控制系统,无惧『Windows』蓝屏影响,为工业生产提供稳定、安全的保障。

EtherCAT总线冗余技术: 通讯链路故障自动切换,显著降低由断线导致的停机风险,32轴可快至125us稳定运行。

PC级故障硬隔离: 无惧『Windows』蓝屏影响,当『Windows』系统发生蓝屏或崩溃时,MotionRT750实时内核仍可持续独立运行,急停按钮也可正常生效,保障工艺生产的安全。

正运动高速『半导体』固晶机工艺运行流程图

方案应用优势总结

1.统一API,开发灵活:支持多种上位机语言开发,所有系列产品均可调用同一套API函数,让用户开发更灵活。

2.突破实时瓶颈,运行稳定高效:彻底解决传统PCI/PCIE卡在『Windows』环境下控制系统的非实时性问题,保障设备高效、稳定运行。

3.极速响应,显著提升产能:基于核内交互技术,指令响应达微秒级,较传统PCI/PCIE方案快数十倍。实测UPH提升至单头22K,双头43K,整体生产效率提升10%以上。

4.多通道飞拍,缩短周期:配备16路独立硬件位置比较输出,支持多工位视觉飞拍同步执行,有效缩短机台CT。

5.智能运动控制,动作流畅精准:集成SS曲线加减速、拱形运行及在线变速功能,实现“软着陆”,确保取晶/固晶动作更流畅、柔和、精准。

硬件选型配置

02 XPCIE1032H运动控制卡产品介绍

1.6-64轴EtherCAT总线+脉冲可选,其中4路单端500KHz脉冲输出,方便接脉冲驱动;

2.32轴EtherCAT同步周期125us,支持多卡联动;

3.板载16点通用输入,16点通用输出,其中8路高速输入和16路高速输出;

4.支持PWM输出、精准输出、PSO硬件位置比较输出、视觉飞拍等;

5.支持直线插补、圆弧插补、连续轨迹加工(速度前瞻)、高阶SS曲线加减速;

6.支持电子凸轮、电子齿轮、位置锁存、同步跟随、虚拟轴、螺距补偿等功能;

7.支持30+机械手模型正逆解模型算法,比如SCARA、Delta、UVW、4轴/5轴 RTCP...

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