在LCD、OLED、Mini/Micro LED等平板显示面板的制造过程中,自动光学检测设备 (AOI) 如同“火眼金睛”,负责识别屏幕上的各类缺陷(亮点、暗点、线缺陷、Mura 不均等)。驱动高分辨率相机📷️或光学传感器在巨大玻璃基板(G10.5+)上高速、稳定、精准扫描的运动平台,其性能直接决定检测效率和准确性。直线电机是这类大型高精平台的主流驱动方案。
大尺寸、高精度、高吞吐量是显示检测的核心挑战:
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高速大面积扫描: 直线电机能提供强大的推力和极高的速度(1m/s以上),驱动沉重的龙门或悬臂结构在数米见方的基板上快速移动,缩短单板检测时间。
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微米级定位精度: 结合激光干涉仪或超高精度光栅尺反馈,实现微米级的绝对定位精度和重复定位精度,确保高分辨率相机📷️能精准对准每一个亚像素级的检测点。
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超平稳运动与低振动: 非接触驱动,运动平滑无抖动,避免运动模糊,保证高速扫描下图像采集的清晰度;极低的自振避免干扰精密光学系统。
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高刚性与稳定性: 巨大的跨距要求平台具有极高的刚性,直线电机直接驱动有助于提高系统整体刚度,抵抗变形,保证全行程精度一致。
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长行程、低磨损: 适应G10.5+超大玻璃基板的检测需求,长行程运动无磨损问题。
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直线电机平台为AOI设备提供了坚实、快速、精准的移动基座,让检测“慧眼”能够高效、无遗漏地捕捉到显示屏上最细微的瑕疵,严把产品质量关。
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