主要技术指标
型号 6514 6517B
电流测量 <1fA(包含噪声)～20mA
电压测量 10μV(数字分辨率极限，可能含有噪声)～200V
电阻测量 10Ω～200GΩ 100Ω～10PΩ
低电阻精度优于1%，高电阻精度优于10%
（使用236、237、238测量，通过加电压测电流或加电流测电压实现，不直接显示阻值）
电荷测量 10fC(数字分辨率极限，可能含有噪声)～20μC 10fC(数字分辨率极限，可能含有噪声)～2μC
特性插头 3 Slot Triax 3 Slot Triax
IEEE-488 有 有
RS-232 有 有
Guard 有 有
CE 有 有
其它 5 1/2精度，替代6512、617-HIQ 5 1/2精度，内置±1kV电压源。湿度、
温度测量。采用交替电压极性法测高阻
可配置多通道的扫描卡
附件 237-ALG-2低噪声三同轴电缆，
237-ALG-2低噪声三同轴电缆，
鳄鱼夹型2m长3插槽三同轴线 鳄鱼夹型2m长3插槽三同轴线，
8607安全型高压双路测试线，
6517-TP热电偶探针，
CS-1305互锁连接头
从三个敏感选项中选择，实现精确的高阻抗和低电流测量。5½ 位 6514 型和 6517B 型静电计提供 1fA 灵敏度，输入阻抗 >200TΩ 的电压测量，以及低至 10fC 的电荷测量。
6½ 位 6430 型亚 fA 远程 SourceMeter SMU 仪器能够以 1aA 的灵敏度测量电流。其噪声低、偏差小，非常适用于研究单电子器件、高电阻纳米线和纳米管、聚合物以及电化学应用。
特点
特点
优势
超低噪声（6430 为 0.4fA p-p ，6517B 和 6514 <1fA）
高达 10 16 Ω 的电阻测量 (6517B)
远程预放大器可以位于信号源 (6430)
低输入端压降
内置 ±1kV 电压源，提供扫描功能 (6517B)
适用于测量试样材料的体积和表面电阻的选配 8009 型电阻率测试盒 (6517B)
即使在低电平信号上也能实现高测量速度
可编程数字 I/O 和内置接口
优势
确保对设备和材料研究中常见的超低电流实现更精确的测量
精确测量超高电阻材料和绝缘体
允许直接或短暂连接到信号源，较大限度地减少电缆噪声等噪声源
消除影响低电流测量精度的误差
简化了执行泄漏、击穿和电阻测试，以及对高电阻率材料执行体积 (Ω-cm) 和表面电阻率 (Ω/square) 测量的过程。
防止您接触潜在危险电压 — 打开测试盒盖子时自动关闭仪器的电压源
支持更快的低电平元器件测试。
简化构建自动化元器件测试系统的过程。
