人民财讯9月8日电，盛美上海(688082)今日宣布推出首款KrF工艺前道涂胶显影设备Ultra Lith KrF，旨在支持『半导体』前端制造。该系统的问世标志着盛美上海光刻产品系列的重要扩充，具有高产能、先进温控技术以及实时工艺控制和监测功能。首台设备系统已于2025年9月交付中国头部逻辑晶圆厂客户。
盛美上海：推出首款KrF工艺前道涂胶显影设备Ultra Lith KrF(盛美 ipo)
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