证券之星消息,根据『天眼查APP』数据显示上海新阳(300236)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“晶圆清洗媒介的循环装置及晶圆封装设备”,专利申请号为CN202422009553.5,授权日为2025年9月16日。
专利摘要:本实用新型公开了一种晶圆清洗媒介的循环装置及晶圆封装设备,第一管路连接接水口和泵体的泵入口,设置第一控制阀;第二管路连接温度控制器的第一出口与送水口,设置流量控制器和第二控制阀;第三管路连接温度控制器的第一出口和泵入口,设置第三控制阀;第四管路连接泵出口和第一进口;第一控制阀、第二控制阀和第三控制阀开启,清洗媒介循环输送,流量控制器控制第二管路输送第一流量的清洗媒介至送水口,第三管路输送第二流量的清洗媒介回泵体,第二流量远大于第一流量。本实用新型的技术方案能够在对晶圆进行超声波清洗时,有效利用溢出的清洗液,并能以不影响超声波清洗的前提下向清洗槽缓慢输送清洗液,以保证清洗槽对晶圆的清洗效果。
今年以来上海新阳新获得专利授权25个,较去年同期减少了32.43%。结合公司2025年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了1.22亿元,同比增25.4%。
通过天眼查大数据分析,上海新阳『半导体』材料股份有限公司共对外投资了28家企业,参与招投标项目71次;财产线索方面有商标™️信息10条,专利信息416条,著作权信息2条;此外企业还拥有行政许可105个。
数据来源:『天眼查APP』
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