ArF光刻胶:上海新阳的ArF干法光刻胶已通过28nm工艺验证,预计2025年进入中芯国际供应链,标志着国产ArF胶向先进制程迈进一步。 全球市场呈现“结构分化”特征:EUV光刻胶因3nm以下制程需求,年复…