国家知识产权局信息显示，无锡先导智能装备股份有限公司取得一项名为“真空管路结构、抽真空装置及蒸发镀膜设备”的专利，授权公告号CN223738104U，申请日期为2025年1月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种真空管路结构、抽真空装置及蒸发镀膜设备。该真空管路结构包括主管道和多个副管道，每个所述副管道的出风端分别连通于所述主管道，且多个所述副管道间隔设置；破风组件，包括挡风板，所述挡风板设于所述主管道内，沿所述主管道内的气流流向，所述挡风板位于所述出风端的上游侧；其中，所述破风组件设有多个，每个所述出风端的一侧均设置有所述挡风。主管道和多个副管道，每个副管道的出风端分别连通于主管道，且多个副管道间隔设置，每个副管道的出风端的上游侧均设置有破风组件，从而有利于使每个副管道的抽气速率相接近，以提高抽气的均匀度。
天眼查资料显示，无锡先导智能装备股份有限公司，成立于2002年，位于无锡市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本156616.3034万人民币。通过天眼查大数据分析，无锡先导智能装备股份有限公司共对外投资了10家企业，参与招投标项目406次，财产线索方面有商标™️信息209条，专利信息3199条，此外企业还拥有行政许可269个。
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