丰田:碳化硅长晶厚度70mm,良率超80%(丰田碳排放)
为提高SiC粉料的利用率、SiC晶体厚度和生长速率,丰田中央研发实验室探索通过石墨件来实现粉料区温度均匀化,并且不需要改动长晶炉主体结构,也不使用昂贵组件。这一成果的达成仅通过采用简单、低成本的感应式PVT…
为提高SiC粉料的利用率、SiC晶体厚度和生长速率,丰田中央研发实验室探索通过石墨件来实现粉料区温度均匀化,并且不需要改动长晶炉主体结构,也不使用昂贵组件。这一成果的达成仅通过采用简单、低成本的感应式PVT…
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